光学干涉测厚仪
该设备用于涂胶工序时，可置于涂胶槽后、烘箱前，在线测量涂胶厚度，在线测量离型膜涂层厚度，精度极高，适用范围广，尤其适合于透明多层物体的厚度测量，要求厚度达到纳米级。
产品性能/参数
测量范围：0.1μm～100μm
测量精度：0.4%
测量重复性：±0.4nm（3σ）
波长范围：380nm～1100nm
响应时间：5~500毫秒
测量点：1mm～30mm
动态扫描测量重复性：10nm
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