CDM 集成厚度和面密度仪

涂覆工序：电极微小特征在线检测；常见的电极微小特征：漏涂（集流体无漏涂、与正常涂覆区域灰度差异较小、CCD识别失败）、划痕、减薄区域厚度轮廓、AT9厚度检测等。

产品详情

表面密度测量原理

X/β射线吸收法

厚度测量原理

场景一：电极表面出现2mm宽的漏焊/缺焊，且其中一侧边缘较粗（如下图蓝色线），当射线点为40mm时，测量的原始数据形状（如下图橙色线）的影响明显变小。

场景2：动态减薄区域0.1mm数据宽度的轮廓数据

姓名	索引
扫描速度	0-18米/分钟
采样频率	面密度：200 kHz；厚度：50 kHz
表面密度测量范围	面密度：10~1000g/m²；厚度：0~3000μm；
测量重复性准确性	表面密度： 16s积分：±2σ：≤±真值0.2‰或±0.06g/m²； ±3σ：≤±真值0.25‰或+0.08g/m²； 4s积分：±2σ：≤±真值0.4‰或±0.12g/m²； ±3σ：≤±真值0.6‰或±0.18g/m²；厚度： 10毫米区域：±3σ：≤±0.3μm； 1毫米区域：±3σ：≤±0.5μm； 0.1毫米区域：±3σ：≤±0.8μm；
相关性 R2	面密度>99%；厚度>98%；
激光点	25*1400微米
辐射防护等级	GB 18871-2002国家安全标准（辐射豁免）
放射性物质使用寿命来源	β射线：10.7年（Kr85半衰期）；X射线：>5年
测量响应时间	面密度<1ms；厚度<0.1ms；
总体功率	<3千瓦